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德國(guó)原裝進(jìn)口

60年紅外測(cè)溫專(zhuān)家

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Sekidenko OR400T 高溫計(jì)

Advanced Energy ?的OR400T光纖溫度計(jì)能為半導(dǎo)體制程提供優(yōu)異的非接觸式溫度測(cè)量解決方案,具體包括PECVD、LPCVD、PVD和金屬蝕刻等應(yīng)用。OR400T設(shè)計(jì)緊湊,易于集成,可滿(mǎn)足許多工藝應(yīng)用的獨(dú)特要求。

產(chǎn)品描述技術(shù)規(guī)格

優(yōu)點(diǎn):

● 提高溫度測(cè)量準(zhǔn)確性

● 提高晶圓間的均勻性

● 提供性?xún)r(jià)比更高的熱電偶類(lèi)測(cè)量替代方案

● 提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力


特點(diǎn):

● 緊湊的單通道設(shè)計(jì)

● 原位、非接觸式溫度測(cè)量

● 支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口,溫度讀取速率高達(dá)20次/秒

● 提高低溫測(cè)量的性能

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